“人類歷史上只出現(xiàn)了兩次工業(yè)革命，體設(shè)第一次是場空合肥高端美女上門外圍上門外圍女（電話微信365-*2895）提供全球及一二線城市兼職美女上門外圍上門外圍女機(jī)械化時代，第二次是間巨加工機(jī)遇數(shù)碼智能時代，當(dāng)前處于第二次工業(yè)革命的大相高潮，‘超人時代’即將到來”“這是司搶一個全球化的產(chǎn)業(yè)，關(guān)起門發(fā)展是抓微不行的”“越是產(chǎn)業(yè)下行期越要加大投資”……8月9日至11日，第十一屆中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會半導(dǎo)體設(shè)備年會暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇在無錫召開，半導(dǎo)備市多家半導(dǎo)體上市公司掌門人就半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的體設(shè)發(fā)展各抒己見。
多位嘉賓表示，場空智能化時代，間巨加工機(jī)遇半導(dǎo)體是大相核心基礎(chǔ)，半導(dǎo)體制造對設(shè)備的司搶需求，催化了以微觀加工為核心的抓微微器件工業(yè)，即半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)備市中國已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最大市場，但設(shè)備和耗材短板明顯，也意味著成長空間極大。合肥高端美女上門外圍上門外圍女（電話微信365-*2895）提供全球及一二線城市兼職美女上門外圍上門外圍女中微公司、拓荊科技、富創(chuàng)精密、凱世通(萬業(yè)企業(yè)子公司)等多家半導(dǎo)體公司掌門人紛紛表示，將直面挑戰(zhàn)、搶抓機(jī)遇。
微觀加工前景廣闊
中微公司董事長兼CEO尹志堯在主題演講中，重新定義了工業(yè)革命。尹志堯劃分工業(yè)革命的理論是：工業(yè)就是“制造東西”，只有在制造的方式上有根本的變化，才能稱之為工業(yè)革命。在某個時期開發(fā)出有偉大變革性的重要產(chǎn)品，并不能稱為工業(yè)革命。
尹志堯認(rèn)為，第一次工業(yè)革命是機(jī)械化時代，以機(jī)械代替人手，催生了宏觀加工為核心的傳統(tǒng)工業(yè)。第二次工業(yè)革命是數(shù)碼智能時代，以電腦替代人腦，以微觀器件代替人的各種感官，催生了以微觀加工為核心的微器件工業(yè)。
“當(dāng)前處于第二次工業(yè)革命的高潮，到2035年數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)值將超過全球企業(yè)總產(chǎn)值的50%。”尹志堯表示，在數(shù)碼智能時代，半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備是數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基石，又是先行者和制高點(diǎn)。
微觀材料包括化學(xué)薄膜、物理薄膜、單晶EPI(外延)等，微觀加工工藝則包括光刻、等離子體刻蝕、CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)等，由此誕生了薄膜設(shè)備、外延設(shè)備、光刻機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、CMP等一系列的半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備。
“國內(nèi)晶圓廠投資加大，半導(dǎo)體設(shè)備、材料及零部件等供應(yīng)鏈環(huán)節(jié)重要性凸顯。”華潤微執(zhí)行董事、總裁李虹表示，2022年全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)銷售額5741億美元，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)達(dá)到1855億美元，占比約32%。中國已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最大市場，但設(shè)備和耗材短板明顯，也意味著成長空間極大。
“我們也能做好微觀器件加工工業(yè)。”尹志堯強(qiáng)調(diào)。他給出的數(shù)據(jù)顯示，CCP等離子體刻蝕機(jī)、ICP等離子體刻蝕機(jī)、PECVD設(shè)備、LPCVD設(shè)備、ALD設(shè)備、PVD設(shè)備、CMP設(shè)備、ECP設(shè)備、光學(xué)檢測設(shè)備、電子束檢測設(shè)備、MOCVD等11類半導(dǎo)體設(shè)備，都是由中國留學(xué)生領(lǐng)銜或作為骨干開發(fā)出來的。
“今后50年到100年，人類將進(jìn)入第三次工業(yè)革命‘超人時代’。”尹志堯認(rèn)為，從智能化時代到“超人時代”，以超人代替人，將催生生命科學(xué)/數(shù)據(jù)技術(shù)集成的電生工業(yè)。
挑戰(zhàn)與機(jī)遇并存
“創(chuàng)新驅(qū)動、技術(shù)演進(jìn)、應(yīng)用牽引。”復(fù)盤半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的驅(qū)動力，華潤微執(zhí)行董事、總裁李虹表示，自1994年起，全球半導(dǎo)體市場銷售額跌宕起伏，但大趨勢就是一路向上，預(yù)計(jì)到2030年將突破萬億美元規(guī)模。
李虹認(rèn)為，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從2022年第二季度開始出現(xiàn)環(huán)比下降，今年第二季度出現(xiàn)了環(huán)比提升的跡象;預(yù)計(jì)本輪產(chǎn)業(yè)周期正處于探底階段，結(jié)合需求復(fù)蘇、庫存消化節(jié)奏等因素觀察，產(chǎn)業(yè)有望于今年第四季度實(shí)現(xiàn)環(huán)比增長。
隨著新一輪產(chǎn)業(yè)周期景氣向上，半導(dǎo)體設(shè)備材料零部件將迎來更大的市場規(guī)模，也面臨新的挑戰(zhàn)。
中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會副秘書長，華大半導(dǎo)體有限公司、上海積塔半導(dǎo)體有限公司董事、總工程師李晉湘介紹，當(dāng)前，本土設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線還存在以下瓶頸：一是設(shè)備無法提供，處于空白，如光刻、量測、失效分析等設(shè)備;二是已有設(shè)備，但不滿足特殊工藝要求，如特殊材料生長和去除等設(shè)備;第三，設(shè)備和工藝都可以提供，但關(guān)鍵工藝成熟度不夠，影響晶圓廠良率。
在當(dāng)天同步舉行的2023半導(dǎo)體制造技術(shù)與設(shè)備材料董事長論壇上，多家上市半導(dǎo)體設(shè)備公司董事長表示，將搶抓機(jī)遇，加快發(fā)展。
“這是一個全球化的產(chǎn)業(yè)，關(guān)起門發(fā)展是不行的。”拓荊科技董事長呂光泉強(qiáng)調(diào)，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)一定要開放、合作。注意到后摩爾時代的Chiplet等新工藝需求，拓荊科技已經(jīng)研制了兩款混合鍵合設(shè)備，包括晶圓對晶圓鍵合產(chǎn)品和芯片對晶圓鍵合表面預(yù)處理產(chǎn)品，主要應(yīng)用于晶圓級三維集成領(lǐng)域。
作為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備零部件平臺型公司，富創(chuàng)精密董事長鄭廣文強(qiáng)調(diào)，越是產(chǎn)業(yè)下行期越要加大投資，加快招募優(yōu)秀人才。面對挑戰(zhàn)，凱世通董事長李勇軍則表示，要活下去、活得好，就必須加大創(chuàng)新。
李虹表態(tài)，華潤微充分發(fā)揮IDM商業(yè)模式垂直一體化優(yōu)勢，積極支持本土設(shè)備、材料的驗(yàn)證，牽引產(chǎn)業(yè)鏈上下游發(fā)展。
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